编者按

“科技是第一生产力、人才是第一资源、创新是第一动力。”建设全球科创中心、孕育城市创新“核爆点”，上海必须坚持服务赋能，聚焦初创企业所需，让更多创新能力强、成长空间大的企业脱颖而出、发展壮大。

张江高新区作为上海科创中心建设的主战场，自2021年起着力实施“张江之星”企业培育，聚焦上海三大核心产业领域和特色产业领域，着力强化企业赋能，不断提升服务能级，优化打造创新生态和产业生态。

“聚是燎原火，散是满天星。”两年来，领军型、成长型、潜力型企业三重“星光梯队”初具规模，在“把基础研究和应用开发结合起来、把底层技术和市场前景结合起来”的道路上积极探索、创新突破。

“‘张江之星’闪耀时”栏目将在张江高新区的科创“星图”上，近距离探访一颗颗正蓄力迸发耀眼创新光芒的企业之星。

面对近年来严峻的行业形势和挑战，位于张江高新区金桥园的中微半导体（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）却逆势上扬，连续多年经营业绩再创新高。

公司开发的刻蚀设备和MOCVD设备，已在性能和性价比上进入国际三强，部分产品在其细分领域全球领先。

未来两年，中微公司的厂房和办公楼总面积将达到约45万平米，比现有厂房面积大15倍的空间将为今后大发展夯实基础。

▲中微公司的子公司和办公室在全球的分布

中微公司董事长兼总经理尹志尧博士表示，相信中国的半导体设备行业能够依靠自主创新，走出目前的低谷。

打出行业影响力

与国际最强者同步前行

尹志尧博士曾在美国从事了近30年半导体设备的研发工作。2004年，他与十几位在硅谷领先公司里有长期工作经验积累的专家一起创立中微公司，自此中微公司一直紧跟先进制程工艺最前沿的发展，与国际最强的半导体设备公司同步前行。

目前，中微公司的等离子体刻蚀设备已在国际一线客户从65纳米、14纳米，到7纳米、5纳米及以下的先进集成电路加工制造生产线及先进封装生产线上得到应用。

投资一条芯片生产线，约70%的资金是用来购买设备的，而在芯片生产设备中，刻蚀机是最难的设备之一。尹志尧说，全球有能力参与这类高端设备主流市场竞争的企业也十分有限，“企业要掌握核心的技术、要有不断创新的能力，才能在这一领域中拥有显著的影响力”。

这也是中微公司一直不懈努力的目标。

中微公司作为后起之秀，与国外同类公司相比，体量和研发投入都相差甚远。面对这一完全不对等的竞争局面，尹志尧带领团队在产品开发、设计和制造过程中，始终强调“创新”和“差异化”。在电容性等离子体刻蚀设备的研发过程中，中微公司开创性地推出了甚高频去耦合等离子体刻蚀技术。

“当时，世界半导体设备三大巨头尚未意识到这种技术的优点，我们在这个方向上通过创新和差异化取得了很大成功。”尹志尧说。

依靠独到的技术优势，中微公司随后又在等离子体刻蚀设备中采用了双反应台技术，即一个反应腔中配置两个反应台，同时加工两片且刻蚀误差仅相差一个原子。这一独特设计实现了增加产能输出，有效降低客户成本，为设备在市场上带来更大的竞争优势。

一条先进的芯片生产线需要3000多台设备构成，其中最大的两类就是等离子体刻蚀机和薄膜设备。如今，中微公司在这两个领域中都有很好的布局。

过去三年，中微公司紧紧抓住市场的机遇，积极扩大自身在国内外市场的占有率。“中微公司的同类产品性能好、稳定性好，维护也很方便，很多之前购买海外同行公司设备的客户转而成为了我们的用户。”尹志尧说，这部分市场为中微今年的“逆势生长”做出了不小的贡献。

从最难的研发

入手拓展微观加工疆域

从2012年到2022年的十年间，中微公司的年销售一直保持了高于35%的平均年增长率。

能够在半导体设备市场上获得十年高速发展，中微公司靠的是硬核的底层技术实力，以及扎实的技术创新能力。

“截至今年6月底，中微公司共申请了2359项专利，已经授权的有1245项，其中发明专利占85%。”尹志尧不无自豪地说，中微每年的研发投入约占营业收入的20%，2022年同比增长达近30%。

事实上，从中微公司创业之初，团队就不惧艰难困苦，从最难做的研发入手，在半导体等离子体刻蚀设备领域打拼天下。

“中微一路走来，得到了国家、上海市和张江高新区的大力扶持。”尹志尧说，自2011年以来，张江通过国家自主创新示范区专项政策，给予中微公司十多项项目支持。这些项目的实施，帮助中微公司提升了自主创新研发能力，实现了关键技术的突破。

世界未来的技术之争，就在于微观加工能力之争。芯片刻蚀正是这一领域的底层技术。它好比在硅片上雕琢出一座供电子奔跑的城市，由于掌握底层核心技术，中微公司根据传感器、闪存、逻辑芯片等细分领域，分别推出针对性设备产品。产品差异化也成为中微攻占市场的一大优势。尹志尧透露，中微公司累计已有大约3700台等离子刻蚀和化学薄膜的反应台在国内外一百条生产线全面实现量产和大量重复性销售。

自成立以来，中微公司累计荣获100多项科学技术、发明专利、质量认证、客户满意度等方面的知名荣誉奖项。2023年，在全球TechInsights全球客户满意度调查中，中微公司再次蝉联三冠王，也是唯一一家同时获得三类奖项的中国本土公司。

▲中微公司在美国TechInsights 2023年全球客户满意度评比中继续排名前列

创新能力的发展，需要制度保障。中微公司不断升华具有中微特色的公司体制和文化，持续提升公司管理及综合竞争力。“中微公司总结过去近20年的发展历程和经验， 我们将其归结为企业发展壮大的‘四个十大’：产品开发十大原则、战略销售十大准则、营运管理十大章法和精神文化的十大作风。”尹志尧说，通过不断学习和贯彻 “四个十大 ”，使得公司各个部门及员工的总能量和对外竞争的净能量做到最大化。

三维发展有机生长

凭借硬核实力走出行业低谷

“在公司规模小的时候，我们好似在海底游泳的鱼，海面上的风浪起伏对我们影响不大，但现在当我们的市场份额越来越大，逐渐浮向海面，就会对这类波动更加敏感。”在尹志尧看来，“高速、稳定、健康、安全”是中微公司发展之途中必须坚持做到的关键词。

由于全球集成电路产业的不景气和国际局势的影响，2023年我国境内国际和本土芯片生产线投资预期会比2022年大幅下降，然后再从“谷底”缓慢反弹。

“其实，从1984年到2022年，全球芯片生产线的投资变化率一直呈现大起大伏的周期性。”尹志尧介绍，为了减少企业发展的大起大落，中微公司已开启“三维发展、有机生长、外延扩展”的道路。

“十几年前，MOCVD设备是用来加工LED照明芯片的。”尹志尧说，经过近20年的飞速发展，MOCVD成为了目前半导体化台物材料制备的关键技术之一。中微公司提前分析研判，在进入该领域短短一年的时间内，实现在全球MOCVD的市场占有率从5%迅速提升至70%，并迅速发展成为全球市占率第一的MOCVD设备供应商，提升了公司营运抗风险周期波动的能力。

凭借在微观加工领域的硬核实力，中微公司除了在刻蚀机、薄膜机、检测机等集成电路设备领域做大做强外，还拓展关注在太阳能电池、LED显示和照明、传感器等泛半导体设备关键领域的应用，并积极探索环境保护、大健康、企业网络等战略新兴领域的发展机会。

▲三维发展战略

为了保持核心竞争力，中微公司始终瞄准世界科技前沿，持续践行三维发展战略，尹志尧说，我们力争在规模和竞争力上成为国际一流的半导体设备和高科技领先企业，我们对中微公司的前途充满信心，我们的目标一定要达到，我们的目标一定能达到！

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