▲图为第四届丝博会上海展厅。

记者采访了解到，上海此次组成代表团参加丝博会，参展企业有上海科技创业投资（集团）有限公司、上海华力微电子有限公司、上海华力集成电路制造有限公司、中微半导体设备（上海）股份有限公司、上海世浦泰环保科技有限公司等14家。上海代表团给本报记者提供的官方资料表明，在上海此次参展阵列里，不少企业系“行业老大”、“中国第一”、“世界领先企业”。

由一批资深留学生2004年在浦东创立的中微半导体设备（上海）股份有限公司，经过几轮融资，公司目前注册资本超过了4.8亿元。该公司是国内半导体和集成电路制造装备产业的领先企业，国内高端装备领域领先的标杆性企业，中微的三大产品，芯片制造前道等离子体刻蚀设备（D-RIE）、硅通孔刻蚀设备（TSV）和金属有机物化学气相沉积设备（MOCVD）”，技术水平在各自的细分领域都位列国际三强。

▲在上海展厅，上海代表团成员、上海科技创业投资（集团）有限公司副总经理朱民（左）向记者介绍上海参展企业情况。

美国权威的集成电路产业咨询公司VLSI Research在2018年排名中，将中微评为设备公司的“客户满意度”全球第三、刻蚀和清洗设备全球第二、薄膜沉积设备全球第一的公司。据了解，中微目前正在上海打造全国集成电路装备产业高地、打造具有全球影响力的科技创新中心。

中微瞄准世界科技前沿研制能与国际垄断巨头争一席之地的具有国际最先进水平的关键设备。近十年来，公司承担了国家科技发展重大专项中02专项的一系列关键设备研发项目，不断取得重大成果，是02专项中唯一一家有极大规模集成电路高端装备产品成批量、连年不断地进入国际主流市场，能与国际巨头展开正面竞争的企业。

中微的产品被作为最优秀和最突出的成果出现在历次最重要的国家科技成果展和成果报道中；曾被列为新中国成立以来7项代表性科学技术重大突破之一，被誉为“大国重器”。

中微TSV刻蚀设备具有世界最先进水平，装备了国内所有的集成电路先进封装企业，市场占有率超过50%。同时，远销欧洲，应用于先进的微电机系统（MEMS）传感器制造。用于制造照明和显示LED 的中微MOCVD设备在最近两年多里，从几乎为零的国内市场占有率一举达到超过85%，彻底打破了美国和德国的两家供应商长期垄断市场的局面，是MOCVD的全世界最大供应商。最近，具有国际最先进水平的MOCVD设备产品正在跨走向世界。到2018年底，已有超过1100台中微的等离子体刻蚀设备和MOCVD设备反应器，在亚欧41条生产线上投入量产。

在一台“500系列光刻机”模型前，上海微电子装备（集团）股份有限公司战略规划总监贺跃进告诉记者，这是公司的“500系列步进投影光刻机”的展品模型，超大视场（33mm×53.5mm、44mm×44mm)，可实现高产率生产，具有高精度的套刻、温度控制能力，可实现高能量曝光条件下的稳定生产。

▲上海微电子装备（集团）股份有限公司战略规划总监贺跃进（白色衣服者）向上海几位记者介绍公司研发的光刻机。

▲在上海碧虎网络科技有限公司展位，几位参展客商在了解该公司研制的“碧虎车屏”。

上海澳华光电内窥镜有限公司（澳华内镜），是全球知名的医用内镜及相关镜下治疗耗材生产制造的集团化企业，目前已成为中国第一、全球第四大内窥镜设备及内镜下高低值耗材生产企业。

成立于2014年的上海快仓智能科技有限公司，拥有目前国内规模最大的机器人智能仓（莱鸟无锡智能旗舰仓），是全球第二大智能机器人系统解决方案提供商，是人工智能+智能机器人领域的头雁企业。快仓智能科技成功上线智能机器人解决方案超过200个项目，超15个国家和地区，已为国内外重量级客户提供了智能机器人系统解决方案，覆盖了20多个行业，受到国内外客户的高度认可。快仓正致力于打造下一代智能驾驶搬运机器人及其操作系统，实现人类不再搬运的愿景。

文：文汇报驻陕记者韩 宏

图：韩 宏

编辑：韩 宏

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